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半导体高真空氮气烘箱

更新日期:2021-06-02

简要描述:

半导体高真空氮气烘箱适是一种新型可形成洁净恒温环境的真空设备,可满足电子、医疗卫生仪器、仪表,工厂、高等院校、科研部门等有关单位作净化及热敏易氧化物质干燥热处理的需要 特别适用于科研、高校、企业做热敏性、易分解、易氧化、成分复杂等物质快速干燥,也可用于粉末及其他物质的快速加速干燥。

品牌豪恩加工定制
操作方式间歇式干燥介质其他
加热方式辐射式工作类型其他
温度范围高温式适用物料多种可用

半导体高真空氮气烘箱

适用范围:

半导体高真空氮气烘箱适用于各行业如光电、硅晶片、电子芯片、电池、线路板、电子电器、制药、化工、塑胶、硅胶等真空脱泡处理及真空状态下烘烤,可充惰性气体,生产车间、实验室及科研单位测试之要求设备。

箱体规格:

1、内尺寸:600(宽)×600(深)×600(高)mm;

2、外尺寸约:900(宽)×830(深)×1520(高)mm;以实物为准;

3、箱体结构:为一体式,真空泵置于机台下部;

4、隔层:内分二层,不锈钢网板二片,可活动抽出;

5、面板安装:控制面板安装于机台下方;

6、开门方式:单由右至左开启,门上带可视窗W300*H350mm;

7、内材质为:不锈钢板,厚5.0mm;内箱加强处理,抽真空不变形;

8、外材质为:冷轧钢板,厚1.2mm,粉体烤漆处理(米白色);

9、保温材质为:耐高温岩棉,保温效果好;

10、安装带刹车活动脚轮,可任意推动;

 

控温系统:

1、温度控制器为数显仪表,单点式控温,可自动演算,PV/SV同时显示,按键设定;

2、定时功能:采用欧姆龙计时器,时间结束后停止加热及抽真空功能,同时报警提示

3、感温线(K)型;

4、输出为3-32V;

5、电流控制器为:PID+SSR固态继电器;

6、加热方式:采用三面加热的热辐射的方式;(左、右、底三面)

7、发热材料为:不锈钢高温加热管;

8、温度范围:常温+30℃~250℃(之间可调可控);

9、控制精度:±0.5℃;

10、显示精度:0.1℃;  

11、箱内温度偏差:±5.0℃.(无真空下空载测试)

真空系统:

1、门口密封方式:机台门口采用高密度性的硅胶密封条密封;

2、真空显示方式:采用真空计显示真空度;

3、真空控制方式为:自动控制,抽真空达到设定值时停止真空泵工作,低于上限值时自动补真空,以此循环工作保持真空恒定状态;

4、泄压方式:试验结束后手动启动泄压功能泄压,采用电磁阀控制泄压;

5、机台真空度范围:≤1.0×105~1.0×101  (Pa),【即10pa】

6、真空保压泄漏率:0.01Pa/L每秒;

7、真空管:采用不锈钢真空波纹管;

8、真空感应器:采用KF16真空电阻规管;

9、真空设定方式:根据需要真空度可自由设定,如真空度为(100Pa)仪表设定(1.0 E  2),如真空度为(10Pa)仪表设定(1.0 E  1)等等, 采用上、下限控制抽真空及停止抽真空;

10、真空控制阀:采用KF40接头高真空带充气压差阀;

11、真空泵配置:采用双级直连式油泵.

12、真空度显示方式:采用电阻真空计显示真度值,显示方式为科学计数法方式

充氮气装置:

1、调压阀:控制氮气压力,正常使用下氮气压力调为2-3公斤左右;

2、流量计:控制氮气进入箱内的大小,量程为10L/min-60Lmin;

3、充氮管道:氮气管道进入到箱内正后面,外配2米长8mm气管;

4、充氮气口:一个氮气孔充入到箱内;

5、氮气源:使用方公司提供氮气源.

电源功率:

1、电压:AC 380V/50Hz三相五线制

2、电流:14A       

3、功率:9.0KW

保护系统:  

1、超温保护系统:温度失控时,超过超温保护设定温度时,自动停止加热供电,从而保护产品及机器的安全。

2、电路保护系统:接地保护、快递保险、缺相保护、过载保护、断路开关等;

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